【摘要】 本工作建立了高纯水、高纯气（N₂、H₂、O₂、Ar、He）;特种气体（硅烷、磷烷、二氧化碳、氯化氢、甲烷）以及硅片,高纯水用的各种树脂、塑料,各种反渗透膜、超过滤膜中阴离子分析方法,对于F^-,Cl^-,NO₃^-,HPO₄^2-及SO₄^2-检测限分别为0.1,0.05,0.5,0.5,0.1ppb,并建立了半导体工艺废水中NH₄⁺、NO₂^-、SO₃^2-、Br^-、CN^-和AsO₄^3-等离子的分析方法。用自制的小容积、灵敏度高的电导检测器以及自制的大体积定量管,代替了引进件。并改进了检测系统, 增加反压装置,降低了基线噪声,设计并制造了一套膜过滤及溶液吸收联用的气体采样装置,采用一次直接进样,大大提高了检测灵敏度（3倍）,降低了检测限,从而首次成功的将这一分离技术应用在半导体工艺中,在国内外首次实现测定≤0.5ppb级超痕量阴离子不采用浓缩柱的技术,建立了快速、灵敏、可靠性强的离子色谱分析的新方法。 目前已为全国85个单位检验各种水质、原材料、气体等。该方法已定为中华人民共和国电子级水国家标准方法的仲裁方法。更多还原

【Abstract】 An ion chromatographic method for determination of trace quantoty of anions in electronic grade water, high purity gases, e. g. N2, H2, O2, Ar and He; special gases, e. g. SiH4, PH3, CO2, HC1 and CH4; various kinds of resins, plastics, reverse osmosis membranes and ultrafiltration membranes has been proposed. The detection limit is 0.1, 0.05, 0.5. 0.5, and 0.1 ppb for F-, Cl-, NO3-, HPO42- and SO42-, respectively.In this study the anion analytical method with detection limit lower than 0.5 ppb without using concentration coloum is reported for the first time.A rapid, reliable and accurate ion chromatographic method has been established and adopted as a National arbitration method for Electronic grade water standard.更多还原