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半导体克拉克型溶氧传感器

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【作者】 李向华；

【机构】 南开大学电子系；

【摘要】 <正> 自L·C克拉克1956年发表了他对氧敏感元件的研究工作以来,克拉克溶氧探头得到越来越广泛地应用。 迄今为止,溶氧器件还是限于电化学的研制,体积大,操作使用不方便。利用半导体平面工艺研制溶氧器件是目前国际

【关键词】 氧传感器； 溶氧探头； 敏感元件； 平面工艺； 工作电极； 参比电极； 极化电压； 高分子电解质； 氧电极； 研究工作；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1988年05期
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