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小角度磨角器及其在集成电路工艺中的应用

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【作者】 王海； 杜元成；

【机构】 复旦大学电子工程系； 复旦大学电子工程系；

【摘要】 本文介绍一种小角度(<1°)磨角装置,其磨角的斜率在1/1000～15/1000范围内连续可调,剖面的纵向分辨率可达100A.

【关键词】 集成电路工艺； 外延层； 扩展电阻法； 扩散结； 纵向分辨率； 角器； 体视； 测角装置； 电路器件； 激光源；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1988年06期
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