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冠醚除钠在台面钝化中的应用

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【作者】 郭印文；

【机构】 八七七厂；

【摘要】 本文介绍了冠醚吸附除钠在大功率三极管台面钝化中的应用,也介绍了试验方法和测量结果,并对试验中的问题进行了讨论.

【关键词】 冠醚； 试验方法； 悬挂键； 吸附作用； 表面能级； 工艺途径； 测量结果； 电流比； 管芯； 工艺条件；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1988年05期
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