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一种修复真空设备的有效方法

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【作者】 桂智彬； 刘家璐； 杨小跃；

【机构】 西北电讯工程学院； 西北电讯工程学院；

【摘要】 <正>我院于1983年调入J5960A型离子注入机一台,原设备价约12万元.在用了少量投资并经电气、机械修复后对该机技术指标测定表明,该机已达到或接近技术说明中规定的技术指标,可在半导体教学和科研中应用.现将采用的方法总结如下,供修复真空设备时参考.

【关键词】 真空设备； 离子注入机； 技术指标； 真空值； 靶室； 技术说明； 指标测定； 瓷套； 离子源； 极限值；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1988年04期
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