铝原子晶粒间界分凝及其对多晶硅电学特性的影响

【摘要】 本文用俄歇电子能谱(AES)证明了铝原子在多晶硅晶粒间界分凝的现象,并研究了多晶硅的势垒电阻、少子寿命和霍耳迁移率.实验结果表明:铝原子的晶粒间界分提与铝原子的性质、铝原子扩散温度以及多晶硅的结构有关;铝原子晶粒间界分凝能在一定程度上改善多晶硅的电学特性,显示出铝原子晶粒间界分凝具有一定的应用潜力.更多还原