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GaAlAs/GaAs光电子发射器的单片集成

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【作者】 高伟； 庄婉如； 谭叔明；

【机构】 北方交通大学物理系； 中国科学院半导体所； 北方交通大学物理系；

【摘要】 本文报导GaAlAs/GaAs光电子发射器的单片集成。文中介绍了近年来发展起来的一些新技术及新制作工艺和可能的应用范围,并给出了近年来的一些典型实例分析。

【关键词】 单片集成； GaAlAs/GaAs； 光电子集成； OEIC； 调制速率； 光电器件； 光电探测器； MOCVD； 外延层； 腔长；
  • 【文献出处】 半导体光电 ,Semiconductor Optoelectronics , 编辑部邮箱 ,1988年02期
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