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半导体器件失效分析

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【作者】 苗保堂； 邓永孝；

【机构】 七七一所； 七七一所；

【摘要】 <正> 第三讲 失效分析技术 失效分析技术是收集失效证据,进一步展现失效特征,鉴别失效模式和研究失效机理的有力手段。在失效分析中恰当选择、灵活运用这些技术是很重要的。它分为常规分析技术和理化分析技术。 一、常规分析技术 常规分析技术分为十种: 电分析技术。包括非功能测试和功能测

【关键词】 失效分析； 半导体器件； 常规分析； 功能测试； 失效特征； 失效模式； 理化分析； 失效机理； 温度循环试验； 产品可靠性；
  • 【文献出处】 质量与可靠性 ,Quality and Reliability , 编辑部邮箱 ,1987年04期
  • 【被引频次】2
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