全金属超高真空快速关闭阀的设计与制造

【摘要】 全金属超高真空快速关闭阀（简称快阀）是同步辐射装置的重要真空保护元件。它安放在光束线的上游，如因光束线下游发生偶然事故，压力传感器将发出信号触发快阀的驱动电路，使它迅速关闭，以防止大量气体进入储存环，保护整机正常工作。我们的快阀是用弹簧机构在快速反应电磁铁的驱动下关闭阀板的，启开则由气缸提升阀板。本阀可关闭的窗口尺寸为１４ｘ１４０ｍｍ～２。包括电磁铁反应时间在内的全关闭时间为６．４５ｍｓ（其中关闭窗口的时间是２．４２ｍｓ）。在重复启闭５００多次的试验中，快阀在关闭位置时，阀板和阀座间的气体泄漏率不大于０．５ｔｏｒｒ．１／ｓｅｃ。更多还原