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膜—衬界面中间层改善附着强度的作用
IMPROVEMENT OF ADHESION BY MEANS OF INTERFACE LAYER
【摘要】 <正> 一、引言为了提高切削刀具的耐磨性,用不同方法在刀具表面镀上一层或多层TiN,TiC,TiCN,Al2O3等硬质膜。其中,PVD法以其特有的优点受到人们的重视。但目前商品化的膜层物质只有TiN。提高超硬耐磨膜与衬底的附着强度是PVD法急需解决的一个问题。
- 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1987年06期
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