节点文献

一台快速进入10-9Pa的超高真空机组

AN ULTRA-HIGH VACUUM SYSTEM OF QUICKLY REACHING 10-9Pa

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 申功烈； 李建平； 张淑荣；

【Author】 Shen Gong-lie Li Jian-ping Zhang Shu-rong(Institute of Electronics, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院电子学研究所； 中国科学院电子学研究所；

【摘要】 本文叙述了快速进入10-9Pa的超高真空机组的关键措施,描述了该机组的结构设计特点,新颖的表面处理工艺技术,以及独特的排气规范。该机组从大气开始抽气,经烘烤去气,总共历经20小时便可达到（4～7）×10-9Pa的真空度。

【关键词】 Pa； 升华泵； 表面处理工艺； 结构设计特点； 真空度； 去气； 极限真空； 离子泵； 收集极； 极限压强；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1987年03期
  • 【下载频次】34
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)