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用光声声表面波谱仪研究表面缺陷

The Investigation of Surface Defect Using Photoacoustic SAW Spectrometer

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【作者】 章肖融； 干昌明； 郑乐奇；

【Author】 Zhang Xiaorong Gan Chengming (Institute of Acoustic,Nanjing University)Zheng Logi (Hehai University,Naujing)

【机构】 南京大学声学研究所； 南京大学声学研究所； 河海大学；

【摘要】 论证了一个带宽为11MHz、无接触式的光声表面波谱仪,并给出了用这一谱仪测量固体表面缺陷的结果。

【Abstract】 In this paper,The Pulse Laser as a noncontact photoacoustic SAW spectrometerwith bandwidth about 11 MHz is demonstrated.The measurement depths of defect in surface ofsolid using this technique are given.

【关键词】 表面缺陷； 波谱仪； 光声； 脉冲激光； 变换原理； 声表面波； 共振峰； 几何形状； 红宝石激光器； 频谱特性；
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