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高压氧化技术

High Pressure Oxidation Technology

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【作者】 张爱珍朱雅新王桂新

【Author】 Zhang Ai-zhen Zhu Ya-xin Wang Gui-xin (Beijing Semiconductor Device Institute)

【机构】 北京半导体器件研究所北京半导体器件研究所

【摘要】 本文报导了我们自行设计和制造的不锈钢高压室式、微处理机控制的高压氧化系统,及其基本结构、主要技术参数和某些工艺结果。

【Abstract】 This paper describes the basic con-structure and main specifications of ahome-made high pressure oxidation systemwhren has a stainless steel chamber and iscontrolled automatically by a microproce-ssor.And some processing results with thesystem have been also reported.

  • 【文献出处】 微电子学与计算机 ,Microelectronics & Computer , 编辑部邮箱 ,1987年07期
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