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HDS离子源电源

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【作者】 乔东生； 阎秀英； 冯群；

【机构】 中国科学院长春物理所； 中国科学院长春物理所；

【摘要】 <正> 一、特征及技术参数1.特征:为了提高LC—3型离子注入机的使用效率和质量,并且能实现全元素离子注入,为此研制出可供双等离子源、溅射离子源、重离子源等使用的“HDS离子源电源。”要求具有稳定的弧流、炉温和稳定的阳极、磁场电源。并要求可靠、耐用和维修方便。

【关键词】 离子源； HDS； 离子注入机； 磁场线； 自动控制系统； 技术参数； 灯丝电流； 光电耦合器； 原理图； 取样电阻；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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