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静电多极偏转器的计算方法

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【作者】 李志能； 曹睿■； 王家斌；

【机构】 浙江大学无线电系； 浙江大学无线电系；

【摘要】 <正> 一、概述静电多极偏转器是电、离子光学系统中的一个基础部件,近年来它在电子束曝光机和聚焦离子束装置中得到普遍的应用,其主要原因:1.扫描速度快,生产效率高;2.合理设计多极偏转器,其象差可做得较小,并对象散易于进行校正;

【关键词】 偏转器； 基础部件； 离子光学； 象差； 生产效率； 聚焦离子束； 计算方法； 电极电位； 偏转电压； 电位分布；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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