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超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应
【摘要】 本文根据大规模和超大规模集成电路微细加工精密工作台的质量和刚度的实际分布情况,提出了一个多自由度系统的动力学模型,并采用近年来在自动控制领域内发展起来的状态空间法寻求此精密工作台系统的动态运动规律,再藉助于电子计算机对其精确求解。
- 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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【摘要】 本文根据大规模和超大规模集成电路微细加工精密工作台的质量和刚度的实际分布情况,提出了一个多自由度系统的动力学模型,并采用近年来在自动控制领域内发展起来的状态空间法寻求此精密工作台系统的动态运动规律,再藉助于电子计算机对其精确求解。