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a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况

THE CONDITIONS OF CONDENSATION AND GROWTH OF a-Si FILMS ON VARIOUS SUBSTRATE MATERIAL SURFACE

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【Author】 WANG ZHI-CHAO(Department of Physics, Nanjing University)SONG JIE(Institute of Radio Broadcasting, Ministry of Radio and Television)

【机构】南京大学物理系；广播电视部广播科学研究所；

【摘要】本文报道了应用SEM观察a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况,并对有关现象作了相应的解释。更多还原

【Abstract】 In this paper, we report the observed conditions of condensation and growth of a-Si on different kinds of substrate materials surfaces studied with the SEM technology. Explanations about the phenomena are given.更多还原

【关键词】 a-Si；表面能；等离子体化学；不锈钢片；外延生长；低能态；面心立方；沉积时间；衍射实验；半导体材料；

【基金】中国科学院科学基金

【文献出处】物理学报 ,Acta Physica Sinica , 编辑部邮箱 ,1987年01期

【被引频次】3
【下载频次】27

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