一种高分辨扫描电镜装置

【摘要】 <正> 一、问题的提出与装置原理扫描电子显微镜的二次电子像的分辨率,对同样的样品来说,主要取决于电子探针的直径,而电子探针的最小直径取决于末级透镜的象差和电子枪的亮度。在电子枪亮度决定之后,就取决于末级透镜的象差。它主要由球面象差、色差以及象散组成。存现代的技术条件下,对于球面象差来说可使色差和象散减少到可忽略的程度。因此,分辨率主要取决于末级透镜的球面象差的大小。目前减少磁透镜的球面象差的更多还原