【摘要】 <正> 一、引言 我们曾报道过紫外预电离与主放电同轴型结构的实用准分子激光器的结构及实验结果。本文对该器件作了改进,在预电离室内安装了一对可调节狭缝装置,让预电离体积可调。结果使得输出性能得以改善。 二、实验装置 激光器腔体及可调狭缝截面示于图1。腔体为凸型结构,主要由上、中、下盖及绝缘框架组成。上盖更多还原

【Abstract】 The effects of preionisation alit width and different buffer gases on the excimer lasser output are reported A comparison of laser outputs with and without gas cycle has been made更多还原