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实用型准分子激光器研究
Studies for a practical excimer Icser
【摘要】 本文介绍了实用型准分子激光器的实验研究。获得了XeCl准分子激光输出参数为:重复频率1-5Hz,一次充Xe,缓冲气体间断工作累计时间大于200小时,总脉冲次数大于5×10~5,工作中注入HCl气体。最大输出能量为120毫焦耳。讨论了准分子激光的输出特性。
【Abstract】 An experimental study of a pracfieal excimer laser is presented,and the output parameter of XeCe laser with repetition rate of 1-5 Hz,in adding fresh HC1 for a gas fill Xe and diluent gas with large than 200 hours of store operation time,laser shots of ~5×10-6,maximum pulse energy is 120mj are obtaned.The output performance of excimer laser is discussed.
- 【文献出处】 激光杂志 ,Laser Journal , 编辑部邮箱 ,1987年05期
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