密封继电器气氛分析系统的设计

【摘要】 本文主要阐述了密封继电器气氛分析系统的具体设计方法。根据密封继电器罩内气氛的特点。提出了分析系统应具有的功能。该系统由特殊结构的气体取样器、不影响气氛组成的气体减压装置和选用具有高灵敏和响应速度快的四极质谱计等组成,在继电器罩内气氛分析中发挥了很好的作用。文章还列举了已经实际投入运行一年多的分析系统结构和性能,最后指出,若对该系统四极质谱计部分增加低压下气体取样装置,则可适用于各种电子器件内部气氛分析和真空放气性能的研究。更多还原