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激光诱导固体表面化学过程的若干研究

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【作者】 邱明新； 周政卓； 李丁； 沈光平；

【机构】 上海市激光技术研究所； 上海市激光技术研究所；

【摘要】 本文采用氩激光倍频及准分子激光,对金属膜层的沉积、化合物膜层沉积、光诱导化学光刻以及激光化学诱导掺杂等固体表面化学过程作了实验研究,并对其中一些过程的机理作了探讨.

【关键词】 固体表面化学； 激光诱导； 沉积速率； 化学诱导； 准分子激光； 光子能量； 原子数； 氩激光； 晶格畸变； 刻蚀速率；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学) ,Science in China,Ser.A , 编辑部邮箱 ,1987年11期
  • 【被引频次】3
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