一种网状刻蚀铝掩膜层的制备

【摘要】 <正> 热释电摄象管(PEV)之所以受到注意,是由于它是比较便宜、具有中等性能的红外(8～14μm)成象器件。象任何一种成象器件那样,在热释电摄象管中,决定性能的参数是灵敏度、噪声和分辨率。非网状靶面热释电摄象管的分辨率受到两个方面的限制:电子束放电滞后和靶面的横向热扩散。电子束放电滞后的结果使信号不能完全读出。若以平移模式工作,在高空间频率下,这就会引起信息的损失。另一方面,在高空间频率下,由于热象区到冷象区的热扩更多还原