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硅功率器件生产中控制少子寿命的电子辐照工艺

Electron irradiation technology for controlling the life-time of minority in silicon power devices production

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【Author】 Lan liqiao Qian Simin Liu Xiaoguang Gu Hongchun Shi Tingting(Institute of Low Energy Nuclear Physics Beijing Normal University)

【机构】北京师范大学低能核物理研究所；北京师范大学低能核物理研究所；

【摘要】 <正> 硅功率器件包括功率整流管和晶闸管,它们在冶金、城建、交通、化工、国防等各个部门中都得到广泛应用,相应产品不仅技术先进,而且节能效果十分明显。因此器件本身有着广阔的市场,尤其是高压大电流晶闸管及高电压的中速、快速器件处于供不应求的状态。为适应这种形势,生产硅功率器件厂家及有关研究单位都在为促进产品质量的提高和稳定以及获得更高的劳动生产率而探索先进的工艺过程。更多还原

【关键词】硅功率器件；少子寿命；关断时间；复合中心；深能级；电子辐照；掺杂；掺金(或铂)；
【Key words】 silicon power devices lifetime of minority turn-off time recombination centre deep energy levels electron irradiatior doping gold(or platinum) doping；

【文献出处】核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,1987年11期

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