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一个短间隙离子束减速系统
A short gap deceleration system for ion beams with very low energy
【摘要】 <正> 当今,甚低能离子束(几十ey—几个keV)在材料科学中发挥着越来越大的作用。低能离子注入和低能离子束沉积(尤其是经过质量分析的)在离子溅射等应用基础研究和各种功能膜的制备等方面有着宽广的应用前景。应用实验室电磁同位素分离器制备核物理实验用各种稳定同位素靶(几十—几百μg/cm~2的薄靶)时为了提高收集效率(要使自溅射系数小于1),也需
【Abstract】 A short-gap E×B ratarding system for getting-500 eV very low energy ion beams is described. Some design rules are discussed. Some experimental results are given also.
【关键词】 甚低能离子束；
空间电荷效应；
后减速；
E×B透镜系统；
【Key words】 very low energy ions space charge effect post-deceleration E× B lens system；
【Key words】 very low energy ions space charge effect post-deceleration E× B lens system；
- 【文献出处】 核技术 ,Nuclear Techniques , 编辑部邮箱 ,1987年05期
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