【摘要】 <正> 溅射的空间分布和溅射率的研究不仅是检验各种溅射机制的重要手段而且与许多溅射的应用问题紧密相联。如利用溅射刻绘集成电路所需的复杂图样、单晶表面加工和薄靶制备技术等。此外一些分析技术也有赖于溅射的角分布和能量分布知识。 有关溅射理论的基础是由Sigmund在1969年提出的线性级联碰撞理论。根据他的理论引致的空间溅射角分布是余弦形状的对称分布,但一些实验表明这一理论与实验有明显的偏更多还原

【Abstract】 Using fast neutron activation analysis technique, the number of sputtered Au atoms that were deposited on the surface of carbon foil was determined. The result shows that obtained anisotropic factor A of sputtered Au atoms, i.e the ratio of sputtering yields between azimuth φ=0 and φ=180 degree, was 1.70±0.4. The experiment result was compared with calculations of sputtering theory model.更多还原