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离化集团束在薄膜制备方面的应用

The application of ionized cluster beam to film preparation

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【作者】 沈关涛王震遐

【Author】 Shen Guantao Wang Zhenxia (Shanghai Institute of Nuclear Research, Academic Sinica)

【机构】 中国科学院上海原子核研究所中国科学院上海原子核研究所

【摘要】 <正> 集团是指由几个到几千个,甚至数百万个原子或分子组成的微小粒子团。其大小一般在毫微米数量级。这一微观尺寸在科学上具有相当的重要性。现在越来越多的实验和理论结果表明,在此微观尺寸下的体系具有许多与大块固体完全不相同的物理性质。研究其独特的结构和物理性能及其形成的有关工艺技术,有助于澄清和理解集团的结构和它们之间的相互作用,且能为研究与开发用于高技术领域完全新型的功能器件和新一代固体器件的设计提供物

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