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灵敏度可调光栅散斑剪切干涉术

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【作者】 刘甲鼎； 岳成林； 李忠智； 端木刚；

【机构】 中国科学院西安光学精密机械研究所； 中国科学院西安光学精密机械研究所；

【摘要】 <正> 本文提出一种新的系统。该系统采用矩形光栅,代替日本学者Yoshihisa lw

【关键词】 散斑； 干涉图； 衍射角； 双曝光； 像面； 光强分布； 衍射波； 计最； 暗纹； 处理阶段；
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