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用于微位移测量的电光传感器

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【作者】 刘慕锦； 汪良才； 蒋步生； 陈纪清； 朱延彬；

【机构】 中国科学院安徽光学精密机械研究所；

【摘要】 本文叙述的基于光三角原理的电光传感器,是对被测表面进行非接触式在线检测的一种新技术。利用这种传感器检测灵敏度高、准确,还可选择性测量。检测信号用微计算机处理,便于实现生产线的自控。可提高生产效率,降低成本。

【关键词】 光传感器； 微位移； 在线检测； 微计算机； 生产效率； 降低成本； 动态测量； 工业生产自动化； 测量系统； 水下测量；
  • 【文献出处】 光电子.激光 ,Journal of Optoelectronics.Laser , 编辑部邮箱 ,1987年05期
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