节点文献
调磁式潘宁离子源
【摘要】 <正> 本文介绍一台调磁式潘宁离子源,包括结构、外特性、发射度、亮度等。该源已成功地应用在离子注入机产品上。 (一)概况和结构介绍 1980年我们研制了一个调磁式潘宁离子源,它作为J59200/ZK型离子注入机的配套部件,已经生产并在该机上运行了好几年。将其装在其它离子注入机上,同样获得了很好的效果。根据我们的调试和广大用户的反映,这种离子源使用方便,结构简单,起弧容易,放电稳定,装拆方便,寿命长,对安装尺寸和清洁状况的要求并不苛刻,很少发现打火等异常情况。 该离子源的结构简图如图(1)所示。
- 【文献出处】 电子工业专用设备 ,Equipment For Electronic Products Manufacturing , 编辑部邮箱 ,1987年01期
- 【被引频次】1
- 【下载频次】66