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Fe2O3气敏器件制作工艺的研究

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【作者】 李旭华； 常瑞庭； 赵宏亮； 张玉仙； 李国栋； 沈岳年； 黄文德；

【机构】 内蒙古大学； 内蒙古大学；

【摘要】 <正> 在制作Fe2O3气敏器件过程中,通常采用压制成形工艺和AU或Pt等贵重金属作电极。为简化工艺和降低成本,我们采用注塑成形工艺和Ni作电极,即用水把Fe2O3粉末拌成泥桨、注入细瓷管内,两端插入Ni丝作为电极,烘干和烧结后,靠材料收缩使器件自动与瓷管脱离。

【关键词】 气敏器件； Fe2O3； 压制成形； 成形工艺； 贵重金属； 降低成本； 气敏特性； 制作工艺； 相对变化率； 还原气氛；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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