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pH-ISFET的无机敏感膜

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【作者】 韩泾鸿； 李亚亭； 蔡金娥； 范杰； 崔大付；

【机构】 中科院电子所； 中科院电子所；

【摘要】 <正> 本文就各种H~+敏感膜的几个问题进行讨论。 ISFET的绝缘栅有两个作用:(1)保护FET的沟道不受溶液的侵蚀;(2)敏感膜表面存在表面基,只对溶液的某种离子作用,产生的电位满足能斯特公式。用电解质-绝缘层

【关键词】 敏感膜； pH-ISFET； 绝缘栅； 能斯特； 离子作用； 膜表面； 平带电压； LPCVD； 表面基团； 化学配比；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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