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离子敏场效应器件的进展及其研究方向

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【作者】 王贵华； 虞惇； 武世香；

【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨工业大学；

【摘要】 <正> 离子敏场效应晶体管ISFET是一类正在发展中的微型化学传感器。它既具有离子选择性电极相似的功能,又具备微电子器件的重要特征,因而是一类极有前途的、富有生命力的器件。目前此类器件正处于大力加强基础研究、技术攻关和应用研究阶段。就ISFET的化学性能(灵敏度、选择性和重现性)而言,至今与

【关键词】 微型化学传感器； 场效应器件； 子敏； 场效应晶体管； 微电子器件； 离子选择性电极； 化学性能； 敏感膜； 应用研究； 基础研究；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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