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化学生物敏感器件用SOS材料
【摘要】 <正> 在蓝宝石（α-Al2O3）衬底上异质外延生长硅单晶膜（简称SOS）,在集成电路上有着重要的应用。然而,这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器,并有商品
- 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1987年Z1期
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【摘要】 <正> 在蓝宝石（α-Al2O3）衬底上异质外延生长硅单晶膜（简称SOS）,在集成电路上有着重要的应用。然而,这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器,并有商品