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超超大规模集成电路的发展

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【作者】 孙鹰九；

【机构】 天津电子材料研究所；

【摘要】 本文综述了近两年来ULSI/VLSI的发展.叙述了ULSI发展中的极限与困难以及ULSI研究工作的一些基本情况.

【关键词】 ULSI； 总指示读数； 管芯； 研究工作； 氧化层错； 圆片； 反相器； 平均故障时间； 电迁徙； 时钟脉冲；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1987年06期
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