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高纯氢中微量杂质氧的气相色谱分析

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【作者】 张英兰； 刘宝成； 戴国瑞；

【机构】 长春物理研究所； 吉林大学电子科学系；

【摘要】 本文报导采用气相色谱变温浓缩取样的方法,分析了高纯氢中的微量氧.其测量灵敏度可达O.1ppm数量级.并在实际应用中证明,这种分析方法比较简单,重复性好,对改进监测半导体材料的制备会起到有益的作用.

【关键词】 纯氢； 微量杂质； 气相色谱； 半导体材料； 测量灵敏度； 分析方法比较； 材料制备； 取样器； 出峰面积； 杜瓦瓶；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1987年05期
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