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改进的铝合金化工艺

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【作者】 韩爱珍； 高元恺； 吴杰；

【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨工业大学；

【摘要】 本文提出了一种改进的铝合金化新工艺.该工艺是将一次铝合金化后的硅片表面层用磷酸腐蚀后,经去离子水彻底清洗,然后进行二次蒸铝及合金化.经此工艺处理后,可改善铝层表面小丘状态,提高粘附性,改善其抗电迁移性能.此法工艺简单,成本低.

【关键词】 铝合金化； 工艺条件； 小丘； 酸腐蚀； 表面层； 电迁移； 去离子水； 金属材料； 粘附性； 金相显微镜；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1987年04期
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