圆形平面磁控溅射靶的设计

【摘要】 本文提出一种设计圆形平面磁控溅射靶的《等效电流磁场计算法》，实测证明，用该法计算的磁感应强度Ｂ的分布及其规律可以作为设计圆形平面磁控溅射靶的依据。如靶的几何参数、永久磁铁的剩磁、靶──基片距离、靶与周围零件的设置及屏蔽罩的安装位置等。由于掌握了磁感应强度Ｂ的分布及大小，因而可方便地确定诸如电压、功率、气压等参数。 为改善圆形平面磁控溅射靶的性能，提高靶材利用率，本文还介绍了三种改进型靶的设计方案。更多还原