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产额谱仪的超高真空抽气

ULTRA-HIGH VACUUM PUMPING SYSTEM OF YIELD SPECTROMETER

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【Author】 Wu Kai Liu Bao-xiang Li Zhi-yi(Shenyang Scientific Instrument Factory, Academy of Science) Zho Zeng-pi Zhai Ying-dong (Institute of Semi-conductor, Academy of Science)

【机构】中国科学院沈阳科仪厂；中国科学院半导体所；中国科学院半导体所；

【摘要】以光发射产额谱仪为主的综合谱仪真空系统由三个真空室组成,即分析室、样品制备室和进样室。对前两个室要求极限压强不大于2.7×10^-8Pa,对进样室则要求1.33×10^-4Pa。该仪器除要求清洁无油外,其分析室工作期间不许用离子泵,以免杂散离子干扰产额谱仪的测量,在非工作期间要求维持不劣于1.33×10^-6Pa的压强,以便工作时启动某些泵就能很快达到工作压强。更多还原

【关键词】极限压强；产额；离子泵；升华泵；真空室；真空获得设备；分析室；样品制备；四极质谱计；低温泵；

【文献出处】真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1986年Z1期

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