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闭循环制冷机低温泵的调试

TEST OF CLOSE-LOOP REFRIGERATOR CRYOPUMP

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【Author】 Zho Zeng-qi (Institute of Semi-conductor, Academy of Science) Wa Kui, Li Zhi-yi, Liu Bao-xiang (Shenyang Scientific Instrument Factory, Academy of Science)

【机构】中国科学院半导体所；中国科学院沈阳科仪厂；中国科学院沈阳科仪厂；

【摘要】 <正> 低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氦来制冷,这就限制了它的应用。现代的低温泵用闭循环小型制冷机来获得抽气所需的低温,完全省去了液氦和液氮,这就大大降低了运转成本。此外,制冷机使用的压缩机寿命较长,一般在运转9000至10000小时后只需花费半小时左右简单地更换一下吸更多还原

【关键词】低温泵；液氦；极限压强；残余气体；四极质谱计；超高真空系统；涡轮分子泵；预抽；真空规；机械泵；

【文献出处】真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1986年Z1期

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