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管状蒸发源辐射传热计算

CALCULATION OF HEAT RADIATION FROM CYLINDRICAL EVAPORATION SOURCE

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【作者】 江明珞；

【Author】 Jiang Ming-luo(Institute of Semiconductor, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院半导体研究所；

【摘要】 <正> 前言蒸发源形式很多。管状蒸发源是将蒸发物料盛在管状坩埚内、坩埚外围以加热丝、加热丝外围以多层热屏而成。其截面如图1所示。这种蒸发源的特点是容量大,定向性好,热效率高,很

【关键词】 辐射传热； 热丝； 定向性； 真空电阻炉； 温度分布； 加热功率； 超高真空系统； 波尔兹曼常数； 真空环境； 辐射率；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1986年06期
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