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GGr15钢表面镀Ti、Cr后N~+、A_r~+束混合的电子能谱法研究

AES, AES—PRO & ESCA STUDY OF Ti,Cr COATING ON GCr15 STEEL SUBSTRATE AFERN~+, Ar~+ BOMBARMNT

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【Author】 Li Wang, Zhan Zhen—zong (No. 3 Research Institute of North—China) Su Ya—wen, Lu Guang—yuan, Zhao Jie(Deparmen of Physics, Tianjing Techer’s University) Luo Ying—ming (Chanhsha No.1448 Instituter)

【机构】华北第三研究院；天津师大物理系；长沙1448所；

【摘要】利用PHI—550型多功能电子谱仪对GCr15钢镀Ti、Cr后用N⁺及Ar⁺和N⁺轰击过的样品进行了AES、AES—PRO（俄歇部面）及ESCA分析研究。结果表明:（1）GCr15钢镀Ti、Cr后,用N⁺轰击,氮的注入效果明显,混合效果不明显,轰击可不同程度地改善镀层同基体的结合;用Ar⁺轰击则混合效果较明显,注入效果不明显。对表面改性来说,前者效果好,后者效果不理想。（2）改性与样品表层生成的TiO₂、TiN、TiG;Cr₂O₃、CrN等成分有关,C的存在对GCr15钢的表面改性有益。更多还原

【关键词】电子能谱法；表面改性； A_r； Cr； GGr15； Ti；电子谱仪；混合效果； ESCA；分析曲线；

【文献出处】真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1986年05期

【被引频次】2
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