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用刀刃技术测SAW速度
【摘要】 本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。
- 【文献出处】 应用声学 ,Applied Acoustics , 编辑部邮箱 ,1986年03期
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【摘要】 本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。