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离子注入机的光纤控制方案之一
【摘要】 本文叙述了采用数据汇编进行光纤传输,实现离子注入机高低电位的参数测量和调整的一种方法。具有方便、可靠和花钱少等优点。
- 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1986年04期
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【摘要】 本文叙述了采用数据汇编进行光纤传输,实现离子注入机高低电位的参数测量和调整的一种方法。具有方便、可靠和花钱少等优点。