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溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究

SPUTTERING RELATED PHENOMENA ON THE SURFACE OF Pb97.4Sn2.6 ALLOY

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【作者】 倪宇红; 张强基; 陆全康; 华中一;

【Author】 NI YU-HONG ZHANG QIANG-JI LU QUAN-KANG HUA ZHONG-YI(Institute of Modern Physics, Fudan University, Shanghai)

【机构】 复旦大学现代物理研究所; 复旦大学现代物理研究所;

【摘要】 本文对Pb97.4Sn2.6合金表面在溅射时所产生的一些现象进行了研究。实验在室温下,利用PHI-590型扫描俄歇微探针进行。根据理论计算结果对实验数据进行分析后,观察到了溅射增强扩散效应。当Ar+离子能量为5千电子伏,离子流密度为70微安/厘米2时,测得锡在合金中的扩散系数为10-15厘米2/秒量级,影响层厚度约为200埃。

【Abstract】 The surface phenomena of Pb97.4Sn2.4 alloy under the Ar+ ion sputtering have been investigated using PHI-590 scanning Auger microprobe at room temperature. Theoretical analyses of experimental data showed that the ion-bombardment-enhanced diffusion occured with diffusion coefficient up to 10-15 cm2/s and the thickness of alter layer was about 260 A. The possible explanation is given.

  • 【文献出处】 物理学报 ,Acta Physica Sinica , 编辑部邮箱 ,1986年12期
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