磁控溅射离子镀膜组织与相结构研究

【摘要】 本文主要应用透射电镜和X射线衍射方法研究了在铜基材上磁控溅射离子镀铝及铬镍不锈钢膜时的组织与相结构。研究发现:在一系列沉积工艺条件下,铜基镀铬镍不锈钢时,其镀膜结构只有一种αFe（Cr,Ni）相;而在镀铝时,随基板负偏压的升高,可获得一系列新的合金相。如Al、AlCu、Al₂Cu₃、Al₄Cu₉、AlCu₃、AlCu₄、αCu（Al）等。更多还原