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最近日本的光致抗蚀剂开发动向

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【作者】 许冬生； 严路彤；

【机构】 无锡化工研究设计院； 无锡化工研究设计院；

【摘要】 <正> 光致抗蚀剂在印刷方面,可用于胶印PS版(预涂感光版,下同)和丝网PS版,目前胶印PS版大部分是用正型的,很少用负型。胶印PS版的正型光致抗蚀剂使用酚醛树脂与萘醌双叠氮磺酸酯的混合物,负型使用重氮树脂。丝网版长期以来,一直使用重氮树脂,

【关键词】 光致抗蚀剂； 预涂感光版； 网版； 重氮； 叠氮； 氧等离子体； 等离子体蚀刻； 电子束固化； 远紫外线； 萘醌；
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