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封离型气体激光器的长期质谱诊断技术
【摘要】 <正> 本文提出一种长期质谱诊断技术,适用于封离型气体激光器及其他充气器件的寿命过程研究。这种技术包含:(1)制造一种阀门型的极微小孔——极微流量阀;(2)建立一个能获得足够压强差的差分抽气系统;(3)确定出合理的操作程序以保证四极场规管本底真空度的稳定。
- 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,1986年09期
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【摘要】 <正> 本文提出一种长期质谱诊断技术,适用于封离型气体激光器及其他充气器件的寿命过程研究。这种技术包含:(1)制造一种阀门型的极微小孔——极微流量阀;(2)建立一个能获得足够压强差的差分抽气系统;(3)确定出合理的操作程序以保证四极场规管本底真空度的稳定。