硅片中微缺陷的CO₂激光自动选择退火

【摘要】 <正> 利用硅对CO₂激光吸收是自由载流子吸收的特点,将有微缺陷的硅片按器件图形扩硼以后,再用CO₂激光进行短时间退火,能够只把器件有源区里面的微缺陷消除掉。 实验结果表明,经CO₂激光退火以后,报废器件的性能可以修复,有微缺陷的硅片可以用来做器件,而且效果更好。CO₂激光退火的选择是在退火过程中自动完成的,不需要借助于任更多还原