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获取半导体“晶须”的激光技术
【摘要】 <正> 采用固体激光器作为能源,使半导体材料先气化成雾状液体微滴,而后在一个气化结晶盒内使这种液体微滴在衬底上结晶,就可形成半导体“晶须”。 影响半导体“晶须”生长速度的主要因素是:气化结晶盒的大小和它的“透明性”、“导热性”、“漏气性”;盒内雾状液体微滴压力的高低;激光器能量的大小、激光束的脉宽和脉冲重复
- 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,1986年09期
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